1、本文采用积分方程法计算带极靴的任意形状的磁透镜。
2、在此基础上可以构造多种厚透镜或复合厚透镜分数傅里叶变换系统。
3、最后给出生成微透镜列阵掩模图形的实例.
4、阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法。
5、并且将四片微透镜阵列耦合,形成一个深紫外光刻的1:1成象的多孔径微小光刻系统。
6、介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术。
7、数值计算了圆形透镜的色散,结果表明:焦斑的半径和焦深随入射波长的变大而减小,光斑的强度随入射波长的变大而增强。
8、此外,应用类似于近轴光学中的矩阵方法,山磁透镜传输矩阵,直接导出了该磁透镜的焦距的表达式。
9、从薄透镜的焦距公式出发,讨论了各种透镜在不同介质中的会聚与发散性质。
10、介绍了采用光刻离子交换工艺制作平面交叉型微透镜阵列的方法。
