1、, 它的精密度和光学分辨力将受大气中吸收频带的影响.
2、, 主要就曝光能量,分辨力改善情况,焦深变化等与传统情况作了比较。
3、, 详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。
4、, 基于系统温度分辨力的要求,对光学系统的相对孔径及选频放大器的带宽进行了优化设计。
5、, 随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是随着分辨力增强技术的使用,像质参数的原位检测已成为先进的投影光刻机中不可或缺的功能。
6、, 理论和统计性能分析表明其对多目标分辨力优于muSIc方法,特别是在小快拍条件下表现了良好的性能。
7、, 阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。
8、, 该测速仪具有硬件电路简单,测速范围、测量精度及分辨力均高于目前转速表等优点。
9、, 该文对我国晒图纸的前景和当前普遍采用电脑底图的特点,进行了分析,并对提高分辨力的实验作了详细叙述。
10、, 本文寻求一种在扫描实孔径雷达中,利用方位信号处理获得优于天线波束宽度的角分辨力的途径。
