1、还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
2、与行星径向平行的台阶边缘被对称淀积.
3、还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
4、冻土的融化明显提高了土壤淀积层的贮水量。
5、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
6、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
7、目前,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域.
8、衬底温度决定原子的表面迁移率,衬底温度是影响淀积的铝膜的均匀性和台阶覆盖能力的主要因素。
9、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
10、通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响,可以为实验研究提供理论指导。
